島津UV為半導(dǎo)體檢測(cè)按下“加速鍵”
發(fā)布時(shí)間:2025-07-16 閱讀次數(shù)：184次
目前，隨著智能駕駛、人工智能、5G技術(shù)的快速發(fā)展，正促使半導(dǎo)體技術(shù)的不斷迭代，芯片性能標(biāo)準(zhǔn)與制造工藝要求持續(xù)提升。島津作為一家百年分析檢測(cè)儀器制造商，豐富的儀器產(chǎn)品線為半導(dǎo)體行業(yè)的檢測(cè)提供了多種檢測(cè)方案。無(wú)論是從基礎(chǔ)原材料的元素分析，還是到成品芯片缺陷的測(cè)定，都有對(duì)應(yīng)的解決方案。
其中，在芯片制造的光刻膠環(huán)節(jié)，193nm是常用的測(cè)試波長(zhǎng)，紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)作為島津明星產(chǎn)品，即使不使用氮?dú)獯祾?，也能獲得對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)處的準(zhǔn)確結(jié)果。
如圖為不使用氮?dú)獯祾邥r(shí)，在190nm附近獲得的良好透過(guò)率光譜。
兩款島津大紫外產(chǎn)品
島津紫外可見(jiàn)近紅外分光光度計(jì)SolidSpec-3700iDUV, 是一款專(zhuān)用于深紫外測(cè)試儀器(165~3300nm)，對(duì)應(yīng)的光電倍增管檢測(cè)器，使用了特制材料。積分球內(nèi)壁涂層也為具有高反射性能的特殊樹(shù)脂。
1 SolidSpec-3700iDUV
大樣品倉(cāng)適合各種附件的安裝
2 SolidSpec-3700iDUV
短波長(zhǎng)測(cè)定助力半導(dǎo)體檢測(cè)
3 SolidSpec-3700iDUV
自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)滿(mǎn)足透過(guò)率和反射率的分布測(cè)定
@紫外可見(jiàn)近紅外分光光度計(jì)SolidSpec-3700iDUV
同時(shí)島津也有桌面式的紫外可見(jiàn)近紅分光光度計(jì)UV-3600i Plus。滿(mǎn)足常見(jiàn)薄膜、濾光片等光學(xué)材料的測(cè)定及液體的紫外可見(jiàn)近紅外分析。
1 UV-3600i Plus
配備三種檢測(cè)器，實(shí)現(xiàn)高靈敏度測(cè)定
2 UV-3600i Plus
超低雜散光，滿(mǎn)足高分辨率測(cè)定
3 UV-3600i Plus
190~3300nm的寬波長(zhǎng)范圍
@紫外可見(jiàn)近紅分光光度計(jì)UV-3600i Plus
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