島津TOC技術：精準檢測，助力高純度制造
發(fā)布時間:2025-03-10 閱讀次數(shù)：433次
在半導體制造過程中，純凈度是決定產品性能的關鍵因素之一。總有機碳分析儀（TOC）作為高精度檢測工具，在半導體材料及制程中發(fā)揮著重要的作用。無論是超純水、化學品，還是氣體、材料的有機污染物檢測，TOC分析儀都能提供快速、準確的測量，確保生產環(huán)境的潔凈度。
01.超純水檢測
半導體制造對超純水的要求極高，TOC分析儀可實時監(jiān)測水中微量有機碳含量，確保水質符合工藝標準。島津 TOC-1000e采用UV氧化-電導率測量方式，具備超高靈敏度，非常適合進行超純水的品質管理。
TOC-1000e
使用TOC-1000e，以10分鐘為周期在線測量超純水。測量結果日報如下表所示。日報中顯示測量時間、TOC濃度值、電導率、溫度的一覽表。從TOC 結果的趨勢圖中可以看出，TOC 濃度穩(wěn)定在 4.7~ 5.0 ppb 的范圍內。
日報表
TOC測量值的趨勢圖
通過實時在線監(jiān)測，可以及時發(fā)現(xiàn)并排除潛在污染源，保障生產環(huán)境的安全與穩(wěn)定。
02.高純度化學品過氧化氫的純度檢測
在半導體制造過程中，高純過氧化氫（H?O?）廣泛用于清洗、刻蝕、表面處理和化學機械拋光等環(huán)節(jié)，這些高純化學品中的微量有機雜質可能會嚴重影響產品質量，因此需要嚴格控制試劑中的總有機碳含量。
島津 TOC-L CPH總有機碳分析儀
ü 采用680℃催化氧化燃燒，由于反應溫度幾乎在所有鹽分的熔點以下，鹽分不會熔融，僅以結晶形式存留在催化劑上。
ü 配置高靈敏度催化劑，能有效測定高純試劑中低濃度水平的 TOC 含量。
ü 八通閥設計，具備在線加酸去除無機碳和稀釋功能，使用方便靈活，可精確測定高純化學品中的 TOC 含量。
島津TOC-L CPH總有機碳分析儀
樣品無需處理，直接上機分別測試總碳(TC)及無機碳(IC)，利用差減法獲得總有機碳含量TOC=TC-IC。
每個樣品重復測試2次，樣品測試輪廓圖及結果如下：
雙氧水中TOC測試結果
TOC總有機碳分析儀是半導體制造中重要的檢測工具，而島津TOC分析儀憑借其高靈敏度、快速響應和智能化操作，成為半導體行業(yè)用戶的不錯之選。
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